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    工業混合氣體
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    高純氣體

    2022-08-04
    高純氣體
    詳細介紹:

    高純氣體

    高純氣體通常指用提純技術能達到的等級純度的氣體。

    高純氣體分為有機高純氣體和無機高純氣體。常用的高純氣體包括高純氮、高純氦、高純氬、高純氫、高純氧、高純二氧化碳、高純甲烷、高純一氧化碳、高純乙炔等。

    高純氣體技術參數

    氣體名稱

    化學式

    規格(%)

    雜質(??)

    高純氦

    He

    99.999%

    O2≤1 CH4≤1 CO2≤0.5 Ne≤4 H2≤1 CO≤0.5 H2O≤3

    高純氬氣 

    Ar

    99.999%

    O2≤2 THC≤2 N2≤5 H2≤1 H2O≤4

    高純氫氣

    H2

    99.999%

    O2≤1 CO2≤1 N2≤5 CH4≤1 CO≤3 H2O≤1

    高純氮氣 

    N2

    99.999%

    O2≤1 H2O≤2 H2≤1 THC≤3

    高純二氧化碳

    CO2

    99.999%

    O2≤1 H2O≤2 N2≤5 CO≤1 THC≤1


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